Süsiniktetrafluoriid (CF4)

Tehnilised parameetrid

Süsiniktetrafluoriid on halogeenitud süsivesinik keemilise valemiga CF4. Seda võib pidada halogeenitud süsivesinikuks, halogeenitud metaaniks, perfluorosüsinikuks või anorgaaniliseks ühendiks. Süsiniktetrafluoriid on värvitu ja lõhnatu gaas, mis ei lahustu vees, lahustub benseenis ja kloroformis. Stabiilne normaalsel temperatuuril ja rõhul, vältige tugevaid oksüdeerijaid, tuleohtlikke või põlevaid materjale. Mittesüttiv gaas, anuma siserõhk suureneb kõrge kuumusega kokkupuutel ning on pragunemise ja plahvatuse oht. See on keemiliselt stabiilne ja mittesüttiv. Toatemperatuuril saab toimida ainult vedel ammoniaak-naatriummetallreagent. Süsiniktetrafluoriid on kasvuhooneefekti tekitav gaas. See on väga stabiilne, võib atmosfääris pikka aega püsida ja on väga võimas kasvuhoonegaas. Süsiniktetrafluoriidi kasutatakse mitmesuguste integraallülituste plasma söövitusprotsessis. Seda kasutatakse ka lasergaasina ning madalatemperatuurilistes külmaainetes, lahustites, määrdeainetes, isoleermaterjalides ja infrapunadetektorite jahutusvedelikes. See on mikroelektroonikatööstuses enimkasutatav plasma söövitusgaas. See on segu tetrafluorometaanist kõrge puhtusastmega gaasist ja tetrafluorometaanist kõrge puhtusastmega gaasist ning kõrge puhtusastmega hapnikust. Seda saab laialdaselt kasutada räni, ränidioksiidi, räninitriidi ja fosfosilikaatklaasi tootmisel. Õhukeste kilematerjalide, näiteks volframi ja volframi söövitamist kasutatakse laialdaselt ka elektroonikaseadmete pinnapuhastuses, päikesepatareide tootmises, lasertehnoloogias, madalatemperatuurilises külmutuses, lekkekontrollis ja trükkplaatide tootmises pesuvahendina. Kasutatakse integraallülituste madalatemperatuurilise külmutusagensina ja plasma kuivsöövitustehnoloogiana. Säilitamise ettevaatusabinõud: Hoida jahedas, ventileeritavas mittesüttivas gaasilaos. Hoida eemal tulest ja soojusallikatest. Säilitustemperatuur ei tohiks ületada 30 °C. Seda tuleks hoida eraldi kergesti (süttivatest) süttivatest materjalidest ja oksüdeerijatest ning vältida segahoidmist. Ladustamisala peaks olema varustatud lekke korral hädaolukorra lahendamise seadmetega.

Rakendus:

① Külmutusagens:

Tetrafluorometaani kasutatakse mõnikord madala temperatuuriga külmutusagensina.

② Söövitamine:

Seda kasutatakse elektroonika mikrotootmises üksi või koos hapnikuga räni, ränidioksiidi ja räninitriidi plasma söövitusainena.

Tavaline pakett:

Eelis:

①Kõrge puhtusastmega, uusim rajatis;

②ISO sertifikaadiga tootja;

③Kiire kohaletoimetamine;

④On-line analüüsisüsteem kvaliteedikontrolliks igal sammul;

⑤Silindri käitlemise enne täitmist on kõrge nõue ja hoolikas protsess;