Boortrikloriid (BCl3)on anorgaaniline ühend, mida tavaliselt kasutatakse pooljuhtide tootmisel kuiva söövituse ja keemilise aurustamise (CVD) protsessides. See on värvitu gaas, millel on toatemperatuuril tugev terav lõhn ja mis on tundlik niiske õhu suhtes, kuna see hüdrolüüsub, moodustades vesinikkloriidhappe ja boorhappe.

Boortrikloriidi rakendused

Pooljuhtide tööstusesBoortrikloriidkasutatakse peamiselt alumiiniumi kuivsöövitamiseks ja legeeriva ainena P-tüüpi piirkondade moodustamiseks räniplaatidel. Seda saab kasutada ka selliste materjalide nagu GaAs, Si, AlN söövitamiseks ja booriallikana teatud spetsiifilistes rakendustes. Lisaks kasutatakse boortrikloriidi laialdaselt metallitöötluses, klaasitööstuses, keemilises analüüsis ja laboriuuringutes.

Boortrikloriidi ohutus

Boortrikloriidon söövitav ja mürgine ning võib põhjustada silmadele ja nahale tõsiseid kahjustusi. See hüdrolüüsub niiskes õhus, eraldades mürgist vesinikkloriidgaasi. Seetõttu tuleb käitlemisel võtta asjakohaseid ohutusmeetmeid.Boortrikloriid, sealhulgas kaitseriietuse, kaitseprillide ja hingamisteede kaitsevahendite kandmine ning töötamine hästi ventileeritavas keskkonnas.