Boortrikloriid (BCL3)on anorgaaniline ühend, mida tavaliselt kasutatakse kuivade söövitamise ja keemiliste aurude sadestumise (CVD) protsessides pooljuhtide tootmisel. See on toatemperatuuril tugeva terava lõhnaga värvitu gaas ja on niiske õhu suhtes tundlik, kuna hüdrolüüsib vesinikkloriidhapet ja boorhapet.

Boori trikloriidi rakendused

Pooljuhtide tööstuses,Boortrikloriidkasutatakse peamiselt alumiiniumi kuiva söövitamiseks ja dopantina, et moodustada räni vahvlitel p-tüüpi piirkonnad. Seda saab kasutada ka selliste materjalide nagu GaAs, Si, ALN ja booriallikana teatud konkreetsetes rakendustes. Lisaks kasutatakse boori trikloriidi laialdaselt metalli töötlemisel, klaasitööstuses, keemilistes analüüsides ja laboratoorsete uuringute alal.

Boori trikloriidi ohutus

Boortrikloriidon söövitav ja toksiline ning võib põhjustada silmadele ja nahale tõsist kahju. See hüdrolüüsib niiske õhus, et vabastada toksiline vesinikkloriidgaas. Seetõttu tuleb käsitlemisel võtta asjakohaseid ohutusmeetmeidBoortrikloriid, sealhulgas kaitserõivaste, prillide ja hingamisteede kaitseseadmete kandmine ning hästi ventileeritavas keskkonnas töötamine.