Lasergaasi kasutatakse peamiselt laserlõõmutamiseks ja litograafiagaasiks elektroonikatööstuses. Mobiiltelefonide ekraanide uuendustest ja kasutusalade laienemisest kasu saades laieneb madalatemperatuurilise polüräni turu ulatus veelgi ning laserlõõmutamise protsess on oluliselt parandanud TFT-de jõudlust. ArF eksimerlaseris pooljuhtide tootmiseks kasutatavate neoon-, fluori- ja argoongaaside hulgas moodustab neoon rohkem kui 96% lasergaaside segust. Pooljuhttehnoloogia täiustamisega on suurenenud eksimerlaserite kasutamine ning topeltsärituse tehnoloogia kasutuselevõtt on toonud kaasa ArF eksimerlaserite tarbitava neoongaasi nõudluse järsu kasvu. Elektrooniliste erigaaside lokaliseerimise edendamisest kasu saades on kodumaistel tootjatel tulevikus parem turu kasvuruum.
Litograafiamasin on pooljuhtide tootmise põhiseade. Litograafia määrab transistoride suuruse. Litograafiatööstuse ahela koordineeritud arendamine on litograafiamasina läbimurde võti. Sobivad pooljuhtmaterjalid, nagu fotoresist, fotolitograafiagaas, fotomask ning katmis- ja ilmutusseadmed, on kõrge tehnoloogilise sisuga. Litograafiagaas on gaas, mille litograafiamasin genereerib sügava ultraviolettlaseri. Erinevad litograafiagaasid võivad toota erineva lainepikkusega valgusallikaid ja nende lainepikkus mõjutab otseselt litograafiamasina eraldusvõimet, mis on litograafiamasina üks tuumadest. 2020. aastal on litograafiamasinate kogumüük maailmas 413 ühikut, millest ASML-i müük 258 ühikut moodustas 62%, Canoni müük 122 ühikut 30% ja Nikoni 33 ühikut 8%.
Postitusaeg: 15. oktoober 2021
