Lasergaas

Lasergaasi kasutatakse peamiselt elektroonikatööstuses laserlõõmutus- ja litograafiagaasina. Mobiiltelefonide ekraanide innovatsioonist ja rakendusalade laienemisest tulenevalt laieneb madala temperatuuriga polükristallilise räni turg veelgi ning laserlõõmutusprotsess on oluliselt parandanud TFT-de jõudlust. Pooljuhtide tootmiseks mõeldud ArF-eksimeerlaseris kasutatavate neoon-, fluor- ja argoongaaside hulgas moodustab neoon lasergaasisegust üle 96%. Pooljuhtide tehnoloogia täiustamisega on eksimeerlaserite kasutamine suurenenud ning topeltsärituse tehnoloogia kasutuselevõtt on toonud kaasa ArF-eksimeerlaserites tarbitava neoongaasi nõudluse järsu kasvu. Elektrooniliste erigaaside lokaliseerimise edendamisest kasu saades on kodumaistel tootjatel tulevikus parem turu kasvuruum.

Litograafiamasin on pooljuhtide tootmise põhiseade. Litograafia määrab transistoride suuruse. Litograafiatööstuse ahela kooskõlastatud areng on litograafiamasinate läbimurde võti. Sobivad pooljuhtmaterjalid, nagu fotoresist, fotolitograafiagaas, fotomask ning katmis- ja arendusseadmed, on kõrge tehnoloogilise sisuga. Litograafiagaas on gaas, mida litograafiamasin tekitab sügava ultraviolettlaserina. Erinevad litograafiagaasid võivad toota erineva lainepikkusega valgusallikaid ja nende lainepikkus mõjutab otseselt litograafiamasina eraldusvõimet, mis on üks litograafiamasina tuumadest. 2020. aastal oli litograafiamasinate kogumüük maailmas 413 ühikut, millest ASML-i müük moodustas 258 ühikut 62%, Canoni müük 122 ühikut 30% ja Nikoni müük 33 ühikut 8%.