Vesinikkloriidon värvitu gaas terava lõhnaga. Selle vesilahust nimetatakse vesinikkloriidhappeks, tuntud ka kui vesinikkloriidhape. Vesinikkloriid lahustub vees väga hästi. Temperatuuril 0 °C võib 1 mahuosa vett lahustada umbes 500 mahuosa vesinikkloriidi.

Sellel on järgmised omadused ja tunnused:

1. Kõrge puhtusaste

Elektroonilise kvaliteedi puhtusvesinikkloriidon väga kõrge, tavaliselt ppm-i või madalamal tasemel, et tagada pooljuhtide tootmisprotsessis lisandite puudumine.

2. Inerts

See on keemiliselt inertne gaas, mis ei reageeri paljude teiste ainetega, mis on väga oluline pooljuhtmaterjalide ja -seadmete saastumise vältimiseks.

3. Kõrge stabiilsus

Elektrooniline hinnevesinikkloriidon üldiselt stabiilse keemilise koostisega, et tagada usaldusväärne pooljuhtide töötlemine.

Pooljuhtide töötlemisel on elektroonilise kvaliteediga vesinikkloriidi peamised rakendused järgmised:

1. Pinna puhastamine ja ettevalmistamine

Tõhusa pinnapuhastusvahendina elektroonikaklassisvesinikkloriidkasutatakse oksiidide ja lisandite eemaldamiseks aluspinnalt, et tagada epitaksiaalse kihi või kile kvaliteet ja puhtus.

2. Epitaksiaalne kasvuabi

Epitaksiaalses protsessis pinnatöötlusainena kasutatuna aitab see parandada epitaksiaalse kihi kvaliteeti, parandada võre sobivust ja vähendada võredefektide teket.

3. Aluspinna eeltöötlus

Enne pooljuhtseadmete valmistamist, elektroonilise kvaliteedigavesinikkloriidsaab kasutada aluspinna töötlemiseks stabiilse aluse moodustamiseks, et parandada epitaksiaalse kihi ja aluspinna vahelist adhesiooni.

4. Sadestamise abiaine

Keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) või füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) protsessis saab elektroonilise kvaliteediga vesinikkloriidi kasutada gaasifaasi ülekandekeskkonnana, et osaleda pooljuhtmaterjalide sadestumisreaktsioonis.

5. Gaasifaasi ülekandeagens

Gaasifaasi ülekandeainena viiakse reaktsioonikambrisse teisi gaasilisi lähteaineid, et aidata reguleerida materjali sadestumiskiirust ja ühtlust.

Need omadused muudavad elektroonilise kvaliteedivesinikkloriidoluline töötlemisaine pooljuhtide tehnoloogias, millel on oluline mõju lõppseadme jõudlusele ja töökindlusele.

Lisaks pooljuhtide töötlemisel kasutamisele võib elektroonikakvaliteediga vesinikkloriid leida mitmesuguseid kasutusvõimalusi ka teistes valdkondades, sealhulgas: kõrge puhtusastmega materjalide ettevalmistamine, kütuseelemendid, pooljuhtmaterjalide kasvatamine, aurfaasilitograafia, materjalianalüüs, keemilised uuringud.

Üldiselt elektrooniline hinnevesinikkloriidon mitmekülgne ja kõrge puhtusastmega gaas, millel on lai valik rakendusi väljaspool pooljuhtide tootmist.