Vesinikkloriidon terava lõhnaga värvitu gaas. Selle vesilahust nimetatakse vesinikkloriidhappeks, mida tuntakse ka kui soolhapet. Vesinikkloriid on vees väga lahustuv. 0 ° C juures võib 1 maht veega lahustada umbes 500 mahtu vesinikkloriidi.

Sellel on järgmised omadused ja omadused:

1. kõrge puhtus

Elektroonilise klassi puhtusvesinikkloriidon väga kõrge, tavaliselt PPM või madalamal tasemel, tagamaks, et pooljuhtide tootmisprotsessis lisandeid ei sisestata.

2. inerdus

See on keemiliselt inertne gaas, mis ei reageeri paljude muude ainetega, mis on väga oluline pooljuhtide materjalide ja seadmete saastumise vältimiseks.

3. kõrge stabiilsus

Elektrooniline klassvesinikkloriidÜldiselt on sellel stabiilne keemia, et tagada usaldusväärne pooljuhtide töötlemine.

Pooljuhtide töötlemisel hõlmavad elektroonilise kvaliteediga vesinikkloriidi peamised rakendused:

1. pinna puhastamine ja ettevalmistamine

Tõhusa pinnapuhasti, elektroonilise astmenavesinikkloriidkasutatakse substraadi pinnalt oksiidide ja lisandite eemaldamiseks, et tagada epitaksiaalse kihi või kile kvaliteet ja puhtus.

2. epitaliline kasvuabi

Epitaksiaalses protsessis kasutatud pinnaravi ainena aitab see parandada epitaksiaalse kihi kvaliteeti, parandada võre sobitamist ja vähendada võredefektide moodustumist.

3. substraadi eeltöötlus

Enne pooljuhtseadmete ettevalmistamist elektrooniline klassvesinikkloriidsaab kasutada substraadi pinna töötlemiseks, et moodustada stabiilne alus epitaksiaalse kihi ja substraadi vahelise adhesiooni parandamiseks.

4. sadestusagent

Keemilise aurude ladestumise (CVD) või füüsikalise aurude ladestumise (PVD) protsessis saab gaasi faasiülekande keskkonnana kasutada elektroonilise kvaliteediga vesinikkloriidi, et osaleda pooljuhtmaterjalide sadestumisreaktsioonis.

5. gaasifaasi ülekandeagent

Gaasifaasi ülekandeagendina sisestatakse reaktsioonikambrisse muud gaasilised eellased, et kohandada materjali sadestumiskiirust ja ühtlust.

Need omadused muudavad elektroonilise klassivesinikkloriidOluline töötlemisagent pooljuhtide tehnoloogias, millel on peamine mõju lõpliku seadme jõudlusele ja usaldusväärsusele.

Lisaks kasutamisele pooljuhtide töötlemisel võib elektroonilise kvaliteediga vesinikkloriid leida mitmesuguseid kasutusviise muudes piirkondades, sealhulgas: suure puhtusega materjalide, kütuseelementide valmistamine, pooljuhtide materjali kasv, aurufaasi litograafia, materiaalne analüüs, keemilised uuringud.

Üldiselt elektrooniline klassvesinikkloriidon mitmekülgne, kõrge puhtusgaas, millel on lai valik rakendusi väljaspool pooljuhtide tootmist.