Elektroonilinespetsiaalsed gaasidon spetsiaalsete gaaside oluline haru. Nad tungivad peaaegu igasse pooljuhtide tootmise ühendusse ja on hädavajalikud toorained elektrooniliste tööstuste tootmiseks nagu üliahulised integreeritud vooluringid, lameekraaniga kuvarid ja päikesepatareisid.

Pooljuhtide tehnoloogias kasutatakse laialdaselt fluori sisaldavaid gaase. Praegu moodustavad globaalsel elektroonilisel gaasiturul fluori sisaldavad elektroonilised gaasid umbes 30% koguarvust. Fluori sisaldavad elektroonilised gaasid on elektrooniliste infomaterjalide valdkonnas spetsiaalsete elektrooniliste gaaside oluline komponent. Neid kasutatakse peamiselt puhastusvahendite ja söövitusvahenditena ning neid saab kasutada ka dopantide, kile moodustavate materjalidena jne. Selles artiklis võtab autor teid mõistma tavalisi fluori sisaldavaid gaase.

Tavaliselt kasutatakse järgmisi fluori sisaldavaid gaase

Lämmastiku trifluoriid (NF3): gaas, mida kasutatakse ladestuste puhastamiseks ja eemaldamiseks, mida tavaliselt kasutatakse puhastusreaktsiooni kambrite ja seadme pindade jaoks.

Väävelheksafluoriid (SF6): Oksiidi sadestumisprotsessides kasutatav fluorineeriv aine ja isoleerivana isoleeriva söötme täitmiseks.

Vesinikfluoriid (HF): kasutatakse oksiidide eemaldamiseks räni pinnalt ja söövitava söövitava räni ja muude materjalidena.

Lämmastikufluoriiid (NF): kasutatud selliste materjalide nagu räni nitriidi (Sin) ja alumiiniumnitriidi (ALN) söövitamiseks.

Trifluorometaan (CHF3) jatetrafluorometaan (CF4): Kasutatakse fluoriidi materjalide, näiteks räni fluoriidi ja alumiiniumfluoriidi söövitamiseks.

Fluori sisaldavatel gaasedel on siiski teatud ohud, sealhulgas toksilisus, söövitavus ja tuleohtlikkus.

Toksilisus

Mõned fluori sisaldavad gaasid on toksilised, näiteks vesinikfluoriidi (HF), mille aur ärritab nahale ja hingamisteedelt väga ja kahjulikke inimeste tervisele.

Söövitavus

Vesinikfluoriid ja mõned fluoriidid on väga söövitavad ning võivad põhjustada nahale, silmadele ja hingamisteede tõsisele kahjule.

Tuleohtlikkus

Mõned fluoriidid on tuleohtlikud ja reageerivad õhus sisalduva hapniku või veega, et vabastada intensiivne kuumus ja toksilised gaasid, mis võivad põhjustada tule või plahvatust.

Kõrgsurveoht

Mõned fluoritud gaasid on plahvatusohtlikud kõrge rõhu all ja vajavad kasutamisel ja ladustamisel spetsiaalset hooldust.

Mõju keskkonnale

Fluori sisaldavatel gaasidel on kõrge atmosfääri eluiga ja GWP väärtused, millel on hävitav mõju atmosfääri osoonikihile ja mis võivad põhjustada globaalset soojenemist ja keskkonnareostust.

Gaaside rakendamine arenevates valdkondades nagu elektroonika süveneb jätkuvalt, tuues suure hulga uut nõudlust tööstusgaaside järele. Tuginedes suuremate elektrooniliste komponentide, näiteks pooljuhtide ja Mandri -Hiinas asuvate näitepaneelide suurele tootmisvõimsusele, tuginedes lähiaastatel, samuti tugev nõudlus elektrooniliste keemiliste materjalide impordi asendamise järele, sisestab kodumaine elektrooniline gaasitööstus kõrge kasvutempo.