Elektroonilinespetsiaalsed gaasidon erigaaside oluline haru. Nad tungivad peaaegu igasse pooljuhtide tootmise lüli ja on asendamatud toorained elektroonikatööstuses, näiteks ülisuurte integraallülituste, lameekraaniga kuvarite ja päikesepatareide tootmisel.

Pooljuhtide tehnoloogias kasutatakse fluori sisaldavaid gaase laialdaselt. Praegu moodustavad fluori sisaldavad elektroonilised gaasid ülemaailmsel elektroonikagaaside turul umbes 30% kogumahust. Fluori sisaldavad elektroonilised gaasid on elektrooniliste infomaterjalide valdkonnas kasutatavate spetsiaalsete elektroonikagaaside oluline komponent. Neid kasutatakse peamiselt puhastusvahenditena ja söövitusainetena, aga ka legeerivate ainetena, kile moodustavate materjalidena jne. Selles artiklis aitab autor teil mõista levinumaid fluori sisaldavaid gaase.

Järgnevalt on loetletud tavaliselt kasutatavad fluori sisaldavad gaasid.

Lämmastiktrifluoriid (NF3): Gaas, mida kasutatakse puhastamiseks ja sette eemaldamiseks, tavaliselt reaktsioonikambrite ja seadmete pindade puhastamiseks.

Väävelheksafluoriid (SF6)Fluoriv aine, mida kasutatakse oksiidide sadestamise protsessides ja isoleeriva gaasina isoleeriva keskkonna täitmiseks.

Vesinikfluoriid (HF): Kasutatakse oksiidide eemaldamiseks räni pinnalt ja söövitusainena räni ja muude materjalide söövitamisel.

Lämmastikfluoriid (NF): Kasutatakse selliste materjalide nagu räninitriidi (SiN) ja alumiiniumnitriidi (AlN) söövitamiseks.

Trifluorometaan (CHF3) jatetrafluorometaan (CF4)Kasutatakse fluoriidmaterjalide, näiteks ränifluoriidi ja alumiiniumfluoriidi söövitamiseks.

Fluori sisaldavatel gaasidel on aga teatud ohud, sealhulgas toksilisus, söövitavus ja süttivus.

Toksilisus

Mõned fluori sisaldavad gaasid on mürgised, näiteks vesinikfluoriid (HF), mille aur ärritab tugevalt nahka ja hingamisteid ning on kahjulik inimeste tervisele.

Söövitavus

Vesinikfluoriid ja mõned fluoriidid on väga söövitavad ning võivad põhjustada tõsiseid kahjustusi nahale, silmadele ja hingamisteedele.

Süttivus

Mõned fluoriidid on tuleohtlikud ja reageerivad õhus oleva hapniku või veega, eraldades intensiivset kuumust ja mürgiseid gaase, mis võivad põhjustada tulekahju või plahvatuse.

Kõrgsurveoht

Mõned fluoritud gaasid on kõrge rõhu all plahvatusohtlikud ning vajavad kasutamisel ja ladustamisel erilist hoolt.

Mõju keskkonnale

Fluori sisaldavatel gaasidel on pikk atmosfääris püsimise aeg ja kõrge globaalse soojenemise potentsiaaliga (GWP) väärtus, millel on atmosfääri osoonikihile hävitav mõju ning mis võivad põhjustada globaalset soojenemist ja keskkonnareostust.

Gaaside kasutamine arenevates valdkondades, näiteks elektroonikas, süveneb jätkuvalt, tuues kaasa suure hulga uut nõudlust tööstusgaaside järele. Lähtudes Mandri-Hiina suurte elektroonikakomponentide, näiteks pooljuhtide ja kuvaripaneelide uute tootmisvõimsuste suurest mahust lähiaastatel, samuti suurest nõudlusest elektrooniliste keemiliste materjalide impordi asendamise järele, on kodumaise elektroonilise gaasitööstuse kasvumäär kiire.