Elektroonilinespetsiaalsed gaasidon erigaaside oluline haru. Need läbivad peaaegu kõik pooljuhtide tootmise lülid ja on asendamatud toorained elektroonikatööstuse, näiteks ülisuurte integraallülituste, lameekraani seadmete ja päikesepatareide tootmiseks.

Pooljuhttehnoloogias kasutatakse laialdaselt fluori sisaldavaid gaase. Praegu moodustavad globaalsel elektroonilisel gaasiturul fluori sisaldavad elektroonilised gaasid ligikaudu 30% koguarvust. Fluori sisaldavad elektroonikagaasid on elektrooniliste teabematerjalide valdkonnas spetsiaalsete elektrooniliste gaaside oluline komponent. Neid kasutatakse peamiselt puhastus- ja söövitusainetena ning neid saab kasutada ka lisanditena, kilet moodustavate materjalidena jne. Selles artiklis tutvustab autor tavalisi fluori sisaldavaid gaase.

Järgmised on tavaliselt kasutatavad fluori sisaldavad gaasid

Lämmastiktrifluoriid (NF3): gaas, mida kasutatakse sademete puhastamiseks ja eemaldamiseks, tavaliselt kasutatakse reaktsioonikambrite ja seadmete pindade puhastamiseks.

Väävelheksafluoriid (SF6): Fluoriv aine, mida kasutatakse oksiidisadestamise protsessides ja isoleergaasina isoleermaterjali täitmisel.

Vesinikfluoriid (HF): kasutatakse oksiidide eemaldamiseks räni pinnalt ning söövitusainena räni ja muude materjalide söövitamiseks.

Lämmastikfluoriid (NF): kasutatakse selliste materjalide nagu räninitriid (SiN) ja alumiiniumnitriid (AlN) söövitamiseks.

Trifluorometaan (CHF3) jatetrafluorometaan (CF4): kasutatakse fluoriidmaterjalide, nagu ränifluoriid ja alumiiniumfluoriid, söövitamiseks.

Kuid fluori sisaldavatel gaasidel on teatud ohud, sealhulgas mürgisus, söövitavus ja süttivus.

Toksilisus

Mõned fluori sisaldavad gaasid on mürgised, näiteks vesinikfluoriid (HF), mille aur ärritab tugevalt nahka ja hingamisteid ning kahjustab inimeste tervist.

Söövitavus

Vesinikfluoriid ja mõned fluoriidid on väga söövitavad ning võivad tõsiselt kahjustada nahka, silmi ja hingamisteid.

Tuleohtlikkus

Mõned fluoriidid on tuleohtlikud ja reageerivad õhus oleva hapniku või veega, eraldades intensiivset kuumust ja mürgiseid gaase, mis võivad põhjustada tulekahju või plahvatuse.

Kõrgsurve oht

Mõned fluoritud gaasid on kõrge rõhu all plahvatusohtlikud ning vajavad kasutamisel ja ladustamisel erilist hoolt.

Mõju keskkonnale

Fluori sisaldavatel gaasidel on kõrge eluiga atmosfääris ja GWP väärtused, mis mõjuvad hävitavalt atmosfääri osoonikihile ning võivad põhjustada globaalset soojenemist ja keskkonnareostust.

Gaaside kasutamine arenevates valdkondades, näiteks elektroonikas, süveneb jätkuvalt, tuues kaasa suure hulga uut nõudlust tööstusgaaside järele. Tuginedes Mandri-Hiinas lähiaastate suurele hulgale peamiste elektroonikakomponentide (nt pooljuhtide ja kuvapaneelide) tootmisvõimsusele ning suurele nõudlusele elektrooniliste keemiliste materjalide impordi asendamise järele, alustab kodumaine elektrooniline gaasitööstus kõrge kasvutempo.