Mis on süsiniktetrafluoriid? Milleks seda kasutatakse?

Mis onsüsiniktetrafluoriidMis kasu sellest on?

SüsiniktetrafluoriidSüsiniktetrafluoriid, tuntud ka kui tetrafluorometaan, on anorgaaniline ühend. Seda kasutatakse mitmesuguste integraallülituste plasma söövitusprotsessis ning ka lasergaasi ja külmutusagensina. See on normaalse temperatuuri ja rõhu all suhteliselt stabiilne, kuid tuleb vältida kokkupuudet tugevate oksüdeerijate, tuleohtlike või põlevate materjalidega. Süsiniktetrafluoriid on mittesüttiv gaas. Kõrge kuumusega kokkupuutel põhjustab see anuma siserõhu tõusu ning pragunemise ja plahvatuse ohtu. Tavaliselt saab see vedela ammoniaagi-naatriummetalli reagendiga suhelda ainult toatemperatuuril.

Süsiniktetrafluoriidon praegu mikroelektroonikatööstuses enimkasutatav plasma söövitusgaas. Seda saab laialdaselt kasutada räni, ränidioksiidi, fosfosilikaatklaasi ja muude õhukeste kilematerjalide söövitamisel, elektroonikaseadmete pindade puhastamisel, päikesepatareide tootmisel, lasertehnoloogias, gaasifaasiisolatsioonis, madalatemperatuurilises jahutamises, lekke tuvastamise ainetena ja trükkplaatide tootmises kasutatavate pesuvahenditena ning sellel on palju rakendusi.