Mis on süsiniktetrafluoriid? Mis kasu on?

Mis onsüsiniktetrafluoriid? Mis kasu on?

Süsiniktetrafluoriid, tuntud ka kui tetrafluorometaan, peetakse anorgaanilise ühendina. Seda kasutatakse mitmesuguste integreeritud vooluahelate plasma söövitusprotsessis ning seda kasutatakse ka lasergaasina ja külmutusagensina. See on normaalse temperatuuri ja rõhu korral suhteliselt stabiilne, kuid on vaja vältida kontakti tugevate oksüdeerijate, tuleohtlike või põlevate materjalidega. Süsiniktetrafluoriid on mittepõletav gaas. Kui see puutub kokku kõrge kuumusega, põhjustab see konteineri siserõhu suurenemist ning seal on pragunemise ja plahvatuse oht. Tavaliselt saab see toatemperatuuril suhelda ainult vedela ammoniaagis-naatriummetalli reagendiga.

Süsiniktetrafluoriidon praegu suurim mikroelektroonikatööstuses kasutatav plasma söövitusgaas. Seda saab laialdaselt kasutada räni, ränidioksiidi, fosfosilikaatklaasi ja muude õhukeste kilematerjalide söövitamisel, elektroonikaseadmete pinna puhastamisel, päikeseenergiarakkude tootmisel, lasertehnoloogial, gaasifaasi isolatsioonil, madala temperatuuriga külmkapis, lekketuvastustel ja trükitud ringkonna tootmisel on suured rakendused.