Mis on süsiniktetrafluoriid? Mis kasu on?

Mis onsüsiniktetrafluoriid? Mis kasu on?

Süsiniktetrafluoriidtetrafluorometaan, mida peetakse anorgaaniliseks ühendiks. Seda kasutatakse mitmesuguste integraallülituste plasmasöövitamise protsessis ning kasutatakse ka lasergaasina ja külmutusagensina. See on normaalsel temperatuuril ja rõhul suhteliselt stabiilne, kuid on vaja vältida kokkupuudet tugevate oksüdeerijate, tuleohtlike või põlevate materjalidega. Süsiniktetrafluoriid on mittesüttiv gaas. Kui see puutub kokku suure kuumusega, suurendab see anuma siserõhku ning tekib pragunemise ja plahvatuse oht. Tavaliselt saab see suhelda vedela ammoniaagi-naatriummetalli reagendiga ainult toatemperatuuril.

Süsiniktetrafluoriidon praegu suurim mikroelektroonikatööstuses kasutatav plasmasöövitusgaas. Seda saab laialdaselt kasutada räni, ränidioksiidi, fosfosilikaatklaasi ja muude õhukeste kilematerjalide söövitamisel, elektroonikaseadmete pinna puhastamisel, päikesepatareide tootmisel, lasertehnoloogial, gaasifaasi isolatsioonil, madala temperatuuriga külmutamisel, lekketuvastusvahenditel, ja trükkplaatide tootmises kasutatavatel detergentidel on palju rakendusi.