Silaanon räni ja vesiniku ühend ning on ühendite seeria üldine termin. Silaan hõlmab peamiselt monosilaani (SiH4), disilaani (SI2H6) ja mõnda kõrgema taseme räni vesinikühendit koos üldvalemiga sinh2n+2. Kuid tegelikus tootmises nimetame üldiselt monosilaani (keemiline valem SIH4) kui “silaan”.

Elektroonilise klassisilaangaassaadakse peamiselt ränipulbri, vesiniku, räni tetrakloriidi, katalüsaatori jms erineva reaktsiooni destilleerimise ja puhastamise teel. Sillaan, mille puhtuse puhtus on 3N kuni 4N, nimetatakse tööstusliku kvaliteediga silaaniks ning silanti rohkem kui 6N puhtusega nimetatakse elektroonilise kvaliteediga siltasgaasiks.

Gaasi allikana räni komponentide kandmiseks,silaangaasSellest on saanud oluline spetsiaalne gaas, mida ei saa asendada paljude teiste räni allikatega, kuna see on kõrge puhtus ja võime saavutada peen kontrolli. Monosilaanist genereerib pürolüüsireaktsiooni kaudu kristalset räni, mis on praegu üks meetodeid granuleeritud monokristallilise räni ja polükristallilise räni suuremahulise tootmise meetodite jaoks maailmas.

Silaani omadused

Silaan (Sih4)on värvitu gaas, mis reageerib õhuga ja põhjustab lämbumist. Selle sünonüüm on räni hüdriid. Silaani keemiline valem on SiH4 ja selle sisaldus on koguni 99,99%. Toatemperatuuril ja rõhul on Silaan ebameeldiv haigus toksiline gaas. Silaani sulamistemperatuur on -185 ℃ ja keemistemperatuur -112 ℃. Toatemperatuuril on silaan stabiilne, kuid kui kuumutatakse 400 ℃, laguneb see täielikult gaasiliseks räni ja vesinikuks. Silaan on tuleohtlik ja plahvatusohtlik ning põleb plahvatuslikult õhu- või halogeengaasis.

Rakendusväljad

Silaanil on lai kasutusvalik. Lisaks sellele, et see on kõige tõhusam viis ränimolekulide kinnitamiseks raku pinnale päikesepatareide tootmise ajal, kasutatakse seda laialdaselt ka tootmisjaamades nagu pooljuhid, lameekraanid ja kaetud klaasi.

Silaanon keemiliste aurude ladestumisprotsesside räni allikas, näiteks üksikkristall räni, polükristalliline räni epitaksiaalse vahvlite, ränidioksiid, räni nitriid ja fosfosilikaatklaas semiküllatööstuses ning see on laialdaselt kasutatav päikesed, ränimookossid, ja propageerimismensorites.

Viimastel aastatel on endiselt esile kerkinud silaanide kõrgtehnoloogilisi rakendusi, sealhulgas täiustatud keraamika, komposiitmaterjalide, funktsionaalsete materjalide, biomaterjalide, suure energiatarbega materjalide jms tootmine, mis muutub paljude uute tehnoloogiate, uute materjalide ja uute seadmete aluseks.