Silaneon räni ja vesiniku ühend ning see on ühendite seeria üldnimetus. Silaan sisaldab peamiselt monosilaani (SiH4), disilaani (Si2H6) ja mõningaid kõrgema tasemega räni vesinikuühendeid üldvalemiga SinH2n+2. Kuid tegelikus tootmises nimetame monosilaani (keemiline valem SiH4) üldiselt silaaniks.

Elektrooniline kvaliteetsilaanigaassaadakse peamiselt ränipulbri, vesiniku, ränitetrakloriidi, katalüsaatori jne mitmesuguste reaktsioonide destilleerimise ja puhastamise teel. Silaani puhtusega 3N kuni 4N nimetatakse tööstuslikuks silaaniks ja silaani, mille puhtus on üle 6N, nimetatakse elektrooniliseks. klassi silaanigaas.

Gaasiallikana ränikomponentide kandmiseks,silaanigaason muutunud oluliseks erigaasiks, mida ei saa asendada paljude teiste räniallikatega, kuna see on kõrge puhtusega ja suudab saavutada peenkontrolli. Monosilaan tekitab pürolüüsireaktsiooni kaudu kristalset räni, mis on praegu üks meetoditest granuleeritud monokristallilise räni ja polükristallilise räni suuremahuliseks tootmiseks maailmas.

Silaani omadused

Silaan (SiH4)on värvitu gaas, mis reageerib õhuga ja põhjustab lämbumist. Selle sünonüüm on ränihüdriid. Silaani keemiline valem on SiH4 ja selle sisaldus on kuni 99,99%. Toatemperatuuril ja rõhul on silaan halvalõhnaline mürgine gaas. Silaani sulamistemperatuur on -185 ℃ ja keemistemperatuur -112 ℃. Toatemperatuuril on silaan stabiilne, kuid kuumutamisel temperatuurini 400 ℃ laguneb see täielikult gaasiliseks räniks ja vesinikuks. Silaan on tule- ja plahvatusohtlik ning põleb plahvatuslikult õhus või halogeengaasis.

Rakendusväljad

Silaanil on lai kasutusala. Lisaks sellele, et see on kõige tõhusam viis ränimolekulide kinnitamiseks elemendi pinnale päikesepatareide tootmisel, kasutatakse seda laialdaselt ka sellistes tootmistehastes nagu pooljuhid, lameekraanid ja kaetud klaas.

Silaneon räniallikas keemilise aurustamise-sadestamise protsesside jaoks, nagu monokristalliline räni, polükristallilised räni epitaksiaalsed vahvlid, ränidioksiid, räninitriid ja fosfosilikaatklaas pooljuhtide tööstuses ning seda kasutatakse laialdaselt päikesepatareide, räni koopiamasina trumlite tootmisel ja arendamisel. , fotoandurid, optilised kiud ja spetsiaalne klaas.

Viimastel aastatel on endiselt esile kerkinud silaanide kõrgtehnoloogilised rakendused, sealhulgas täiustatud keraamika, komposiitmaterjalide, funktsionaalsete materjalide, biomaterjalide, suure energiatarbega materjalide jne tootmine, millest on saanud paljude uute tehnoloogiate, uute materjalide ja uute materjalide alus. seadmeid.