Silaan (SiH4)

Tehnilised parameetrid

Silaan on räni ja vesiniku ühend. See on üldnimetus mitmetele ühenditele, sealhulgas monosilaan (SiH4), disilaan (Si2H6) ja mõned kõrgema tasemega räni-vesiniku ühendid. Nende hulgas on monosilaan kõige levinum, mida mõnikord nimetatakse lühidalt silaaniks. Silaan on värvitu gaas, millel on vastik küüslaugu lõhn. Lahustub vees, peaaegu lahustumatu etanoolis, eetris, benseenis, kloroformis, ränikloroformis ja ränitetrakloriidis. Silaanide keemilised omadused on palju aktiivsemad kui alkaanidel ja need oksüdeeruvad kergesti. Õhuga kokkupuutel võib tekkida iseeneslik süttimine. See ei reageeri lämmastikuga alla 25 °C ja ei reageeri süsivesinikühenditega toatemperatuuril. Silaani süttimine ja plahvatus on reaktsiooni tulemus hapnikuga. Silaan on hapniku ja õhu suhtes äärmiselt tundlik. Teatud kontsentratsiooniga silaan reageerib plahvatuslikult hapnikuga ka temperatuuril -180 °C. Silaanist on saanud pooljuhtide mikroelektroonika protsessides kasutatav kõige olulisem spetsiaalne gaas ning seda kasutatakse mitmesuguste mikroelektrooniliste kilede, sealhulgas monokristallkilede, mikrokristalliliste, polükristalliliste, ränioksiidi, räninitriidi ja metallsitsiidide valmistamisel. Silaani mikroelektroonilised rakendused on alles süvenemas: madalatemperatuuriline epitaksia, selektiivne epitaksia ja heteroepitaksia. Seda kasutatakse mitte ainult räniseadmetes ja räni integraallülitustes, vaid ka liitpooljuhtseadmetes (gallium-arseniid, ränikarbiid jne). Sellel on rakendusi ka ülivõre kvantkaevude materjalide valmistamisel. Võib öelda, et silaani kasutatakse tänapäeval peaaegu kõigis täiustatud integraallülituste tootmisliinides. Silaani kasutamine räni sisaldava kile ja kattena on laienenud traditsioonilisest mikroelektroonikatööstusest erinevatesse valdkondadesse, nagu terase-, masina-, keemia- ja optikatööstus. Teine ​​potentsiaalne silaani rakendus on suure jõudlusega keraamiliste mootoriosade tootmine, eriti silaani kasutamine silitsiidi (Si3N4, SiC jne) mikropulbritehnoloogia tootmiseks on pälvinud üha enam tähelepanu.

Rakendus:

①Elektrooniline:

Silaani kantakse räniplaatide polükristallilisele räni kihtidele pooljuhtide ja hermeetikute tootmisel.

②Päikeseenergia:

Silaani kasutatakse päikesepaneelide tootmisel.

③Tööstuslik:

Seda kasutatakse energiasäästlikus rohelises klaasis ja õhukeste kilede aurustamise protsessis.

Tavaline pakett:

Eelis:

① Rohkem kui kümme aastat turul;

②ISO sertifikaadiga tootja;

③Kiire kohaletoimetamine;

4. Stabiilne tooraineallikas;

⑤On-line analüüsisüsteem kvaliteedikontrolliks igal sammul;

⑥Silindri käitlemise enne täitmist on kõrge nõue ja hoolikas protsess;

⑦Puht: kõrge puhtusastmega elektrooniline klass;

6. Kasutamine: päikesepatareide materjalid; kõrge puhtusastmega polükristallilise räni, ränioksiidi ja optilise kiu tootmine; värvilise klaasi tootmine.