2018. aastal ulatus integreeritud vooluringide globaalne elektrooniline gaasiturg 4,512 miljardi dollarini, mis on aastatagusega 16%. Pooljuhtide elektroonilise spetsiaalse gaasitööstuse ja tohutu turu suurus on kiirendanud elektroonilise spetsiaalse gaasi kodumaist asendusplaani!
Mis on elektrongaas?
Elektrooniline gaas viitab põhilise allikamaterjalile, mida kasutatakse pooljuhtide, lameekraanide, valgust kiirgavate dioodide, päikesepatareide ja muude elektrooniliste toodete tootmisel ning seda kasutatakse laialdaselt puhastamisel, söövitamisel, kilede moodustamisel, dopingul ja muude protsessides. Elektroonilise gaasi peamised rakenduspiirkonnad hõlmavad elektroonikatööstust, päikeseelemente, mobiilsidekommunikatsiooni, autode navigeerimist ning autode ja videosüsteeme, kosmosetööstust, sõjatööstust ja paljusid muid valdkondi.
Elektrooniline spetsiaalne gaasi võib jagada seitsmesse kategooriasse vastavalt tema enda keemilisele koostisele: räni, arseen, fosfor, boori, metalli hüdriidi, halogeniidi ja metalli alkoksiidi. Integreeritud vooluahelate erinevate rakendusmeetodite kohaselt võib selle jagada dopingugaasiks, epitaksiagaasis, ioonide implantatsioonigaasis, kerget dioodigaasi, söövitusgaasi, keemiliste aurude sadestusgaasi ja tasakaalugaasi. Pooljuhtide tööstuses kasutatakse rohkem kui 110 spetsiaalset gaasidet, millest tavaliselt kasutatakse üle 30.
Üldiselt jagab pooljuhtide tootmine gaasid kahte tüüpi: tavalised gaasid ja spetsiaalsed gaasid. Nende hulgas viitab tavaliselt kasutatav gaas tsentraliseeritud pakkumisele ja kasutab palju gaasi, näiteks N2, H2, O2, AR, HE jne. Spetsiaalne gaas viitab mõnele pooljuhtide tootmisprotsessis kasutatavatele keemilistele gaasidele, näiteks pikendus, ioonide sissepritse, segamine, pesemine, pesemine, mida me nimetame nüüd Electronic Special Gas, B2, B2, B2, B2, PH NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 jne.
Kogu pooljuhtide tööstuse tootmisprotsessis alates kiibi kasvust kuni lõpliku seadme pakendini on peaaegu iga link lahutamatu elektroonilisest spetsiaalsest gaasist ning kasutatud gaasi mitmekesisusest ja kvaliteetsetest nõuetest, seega on elektroonilisel gaasil pooljuhtmaterjalid. “Toit”.
Viimastel aastatel on Hiina peamised elektroonilised komponendid, näiteks pooljuhid ja vitriinpaneelid, suurenenud uues tootmisvõimsuses ning elektrooniliste keemiliste materjalide impordi asendamiseks on tugev nõudlus. Elektrooniliste gaaside positsioon pooljuhtide tööstuses on muutunud üha silmapaistvamaks. Kodumaine elektrooniline gaasitööstus juhib kiiret kasvu.
Elektroonilisel spetsiaalsel gaasil on puhtuse jaoks väga kõrged nõuded, kuna kui puhtus ei vasta nõuetele, moodustavad elektroonilise spetsiaalse gaasi sellised lisaainete rühmad nagu veeaur ja hapnik pooljuhi pinnale oksiidkile, mis mõjutab elektrooniliste seadmete kasutusaega, ja elektrooniline spetsiaalne gaas sisaldavad mahutavaid osakesi semikoosseid ja ringkonnakahjustusi. Võib öelda, et puhtuse paranemine mängib olulist rolli elektroonilise seadme tootmise saagis ja jõudluses.
Pooljuhtide tööstuse pideva arenguga paraneb kiibide tootmisprotsess jätkuvalt ja nüüd on see jõudnud 5NM-ni, mis läheneb Moore'i seaduse piirile, mis on samaväärne inimese juuste läbimõõduga ühekordse läbimõõduga (umbes 0,1 mm). Seetõttu annab see ka kõrgemaid nõudeid pooljuhtide toodetud elektroonilise spetsiaalse gaasi puhtusele.
Postiaeg: 15. detsember 20121
