2018. aastal ulatus integraallülituste ülemaailmne elektroonilise gaasi turg 4,512 miljardi USA dollarini, mis on 16% rohkem kui aasta varem. Pooljuhtide elektroonilise erigaasi tööstuse kiire kasvumäär ja tohutu turu suurus on kiirendanud elektroonilise erigaasi siseriiklikku asendamiskava!
Mis on elektrongaas?
Elektrooniline gaas on pooljuhtide, lameekraanide, valgusdioodide, päikesepatareide ja muude elektroonikatoodete tootmisel kasutatav põhiline lähtematerjal ning seda kasutatakse laialdaselt puhastamisel, söövitamisel, kile moodustamisel, legeerimisel ja muudes protsessides. Elektroonilise gaasi peamised rakendusvaldkonnad hõlmavad elektroonikatööstust, päikesepatareid, mobiilsidet, autode navigatsiooni- ja autoaudio- ja videosüsteeme, lennundust, sõjatööstust ja paljusid teisi valdkondi.
Elektroonika erigaasi saab keemilise koostise järgi jagada seitsmeks kategooriaks: räni, arseen, fosfor, boor, metallhüdriid, halogeniid ja metallalkoksiid. Integraallülitustes kasutatavate erinevate rakendusmeetodite kohaselt saab seda jagada legeerimisgaasiks, epitaksiagaasiks, ioonimplantatsioonigaasiks, valgusdioodigaasiks, söövitusgaasiks, keemilise sadestamise gaasiks ja tasakaalustusgaasiks. Pooljuhtide tööstuses kasutatakse üle 110 erigaasi, millest enam kui 30 on tavaliselt kasutusel.
Üldiselt jagab pooljuhtide tööstus gaasid kahte tüüpi: tavalised gaasid ja erigaasid. Nende hulgas on tavaliselt kasutatav gaas, mis on mõeldud tsentraliseeritud tarnimiseks ja mille puhul kasutatakse palju gaasi, näiteks N2, H2, O2, Ar, He jne. Erigaas viitab mõnele keemilisele gaasile, mida kasutatakse pooljuhtide tootmise protsessis, näiteks pikendamisel, ioonide süstimisel, segamisel, pesemisel ja maski moodustamisel, mida me nüüd nimetame elektroonika erigaasiks, näiteks kõrge puhtusastmega SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 jne.
Pooljuhtide tööstuse kogu tootmisprotsessis, alates kiibi kasvatamisest kuni seadme lõpppakendini, on peaaegu iga lüli lahutamatult seotud elektroonika erigaasiga ning kasutatava gaasi mitmekesisuse ja kõrgete kvaliteedinõuetega, seega on elektroonikagaasil pooljuhtmaterjalid. „Toit“.
Viimastel aastatel on Hiina peamiste elektroonikakomponentide, näiteks pooljuhtide ja kuvaripaneelide, uus tootmisvõimsus suurenenud ning elektroonikakeemiliste materjalide impordi asendamise järele on suur nõudlus. Elektrooniliste gaaside positsioon pooljuhtide tööstuses on muutunud üha olulisemaks. Kodumaine elektroonikagaasitööstus peaks kiiresti kasvama.
Elektroonikaseadmete erigaasi puhtusnõuded on väga kõrged, sest kui puhtus ei vasta nõuetele, moodustavad elektroonikaseadmete erigaasis sisalduvad lisandite rühmad, näiteks veeaur ja hapnik, pooljuhi pinnale kergesti oksiidikihi, mis mõjutab elektroonikaseadmete kasutusiga, ning elektroonikaseadmete erigaasis sisalduvad lisandite osakesed võivad põhjustada pooljuhtide lühiseid ja vooluringi kahjustusi. Võib öelda, et puhtuse parandamine mängib olulist rolli elektroonikaseadmete tootmise saagikuses ja jõudluses.
Pooljuhtide tööstuse pideva arenguga on kiipide tootmisprotsess pidevalt täiustunud ja nüüdseks on see jõudnud 5 nm-ni, mis läheneb Moore'i seaduse piirile, mis on võrdne inimese juuksekarva läbimõõdu kahekümnendikuga (umbes 0,1 mm). Seega seab see ka pooljuhtide toodetud elektroonilise erigaasi puhtusele kõrgemad nõuded.
Postituse aeg: 15. detsember 2021
