2018. aastal ulatus globaalne integraallülituste elektrooniline gaasiturg 4,512 miljardi USA dollarini, mis on 16% rohkem kui aasta varem.Pooljuhtide elektroonika erigaasitööstuse kõrge kasvutempo ja tohutu turu suurus on kiirendanud elektroonilise erigaasi kodumaist asendusplaani!
Mis on elektrongaas?
Elektrooniline gaas viitab põhilisele lähtematerjalile, mida kasutatakse pooljuhtide, lameekraanide, valgusdioodide, päikesepatareide ja muude elektroonikatoodete tootmisel ning seda kasutatakse laialdaselt puhastamisel, söövitamisel, kilede moodustamisel, dopingul ja muudel protsessidel.Elektroonilise gaasi peamisteks kasutusvaldkondadeks on elektroonikatööstus, päikesepatareid, mobiilside, autonavigatsioon ning autode audio- ja videosüsteemid, lennundus, sõjatööstus ja paljud teised valdkonnad.
Elektroonilise erigaasi võib selle keemilise koostise järgi jagada seitsmesse kategooriasse: räni, arseen, fosfor, boor, metallhüdriid, halogeniid ja metallialkoksiid.Erinevate integraallülituste rakendusmeetodite kohaselt võib selle jagada dopinggaasiks, epitaksigaasiks, ioonide implanteerimisgaasiks, valgusdioodigaasiks, söövitusgaasiks, keemiliseks aurustamise-sadestamise gaasiks ja tasakaalustusgaasiks.Pooljuhtide tööstuses kasutatakse rohkem kui 110 ühikut erigaase, millest enam kui 30 kasutatakse tavaliselt.
Üldiselt jagab pooljuhtide tootmistööstus gaasid kahte tüüpi: tavalised gaasid ja erigaasid.Nende hulgas viitab tavaliselt kasutatav gaas tsentraliseeritud tarnimisele ja kasutab palju gaase, nagu N2, H2, O2, Ar, He jne. Erigaas tähistab mõningaid keemilisi gaase, mida kasutatakse pooljuhtide tootmise protsessis, nt. pikendamine, ioonide süstimine, segamine, pesemine ja maski moodustamine, mida me praegu nimetame elektrooniliseks erigaasiks, nagu kõrge puhtusastmega SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 jne.
Kogu pooljuhtide tööstuse tootmisprotsessis alates kiibi kasvatamisest kuni seadme lõpliku pakkimiseni on peaaegu iga lüli lahutamatu elektroonilisest erigaasist ning kasutatava gaasi mitmekesisusest ja kõrgetest kvaliteedinõuetest, seega on elektroonilisel gaasil pooljuhtmaterjalid."Toit".
Viimastel aastatel on Hiina peamiste elektrooniliste komponentide, nagu pooljuhid ja kuvapaneelid, tootmisvõimsus suurenenud ning nõudlus elektrooniliste keemiliste materjalide impordi asendamise järele on suur.Elektrooniliste gaaside positsioon pooljuhtide tööstuses on muutunud järjest silmapaistvamaks.Kodumaine elektrooniline gaasitööstus toob kaasa kiire kasvu.
Elektroonilisel erigaasil on väga kõrged puhtusenõuded, sest kui puhtus ei vasta nõuetele, moodustavad elektroonses erigaasis olevad lisandite rühmad nagu veeaur ja hapnik kergesti pooljuhi pinnale oksiidkile, mis mõjutab elektroonikaseadmete kasutusiga ja elektrooniline erigaas sisaldab Lisandite osakesed võivad põhjustada pooljuhtide lühiseid ja vooluahela kahjustusi.Võib öelda, et puhtuse parandamine mängib olulist rolli elektroonikaseadmete tootmise saagikuses ja jõudluses.
Pooljuhtide tööstuse pideva arenguga paraneb kiibi tootmisprotsess jätkuvalt ja nüüd on see jõudnud 5 nm-ni, mis hakkab lähenema Moore'i seaduse piirile, mis võrdub ühe kahekümnendikuga juuksekarva läbimõõdust ( umbes 0,1 mm).Seetõttu seab see kõrgemad nõuded ka pooljuhtide poolt toodetava elektroonilise erigaasi puhtusele.
Postitusaeg: 15. detsember 2021
